微電子器件老化篩選測試流程
作(zuo)者:
salmon范
編輯:
瑞(rui)凱儀(yi)器(qi)
來源:
bibil.cn
發布日期: 2020.12.01
1、流(liu)程
艦(jian)船(chuan)(chuan)通(tong)用(yong)微(wei)(wei)電子器件的老化(hua)篩(shai)(shai)選(xuan)項月,一般都(dou)與個(ge)或多個(ge)故障模代有(you)關。所以其老化(hua)篩(shai)(shai)選(xuan)的順序(xu)大(da)有(you)講究,本文推薦的艦(jian)船(chuan)(chuan)通(tong)用(yong)微(wei)(wei)電子器件老化(hua)篩(shai)(shai)選(xuan)順序(xu)(流程)是:
常溫(wen)(wen)(wen)初測、低溫(wen)(wen)(wen)測試(shi)、高(gao)溫(wen)(wen)(wen)測試(shi)、高(gao)低溫(wen)(wen)(wen)沖擊(ji)動態(tai)老化(hua)/高(gao)溫(wen)(wen)(wen)存儲(chu)(chu)檢漏(lou)常溫(wen)(wen)(wen)終測這里的/是(shi)條(tiao)件或。即如果(guo)已(yi)做動態(tai)老化(hua),高(gao)溫(wen)(wen)(wen)存儲(chu)(chu)可(ke)省:如果(guo)由于(yu)條(tiao)件限制做不了動態(tai)老化(hua),那么(me)可(ke)用高(gao)溫(wen)(wen)(wen)存儲(chu)(chu)作(zuo)補償性(xing)篩選。
2、技術條件和方法
2.1常(chang)溫(wen)初/終測
2.1.1條件
檢測的環境溫度:23℃±2℃
確保被檢器(qi)件在(zai)檢測的環境溫度下已保持30min。
2.1.2方(fang)法(fa)
在(zai)有能(neng)力檢測(ce)(ce)被(bei)測(ce)(ce)器件的測(ce)(ce)試(shi)系統上(shang),按器件數據手冊(ce)的技術要(yao)(yao)求檢測(ce)(ce)器件是否滿足規定的各項指標要(yao)(yao)求。一(yi)般,這些(xie)測(ce)(ce)試(shi)系統需要(yao)(yao)經過認可/計確認,測(ce)(ce)試(shi)軟(ruan)件經過認可/計量確認。
2.2低(di)溫測試
2.2.1條件
檢測的環境溫(wen)度:工(gong)作(zuo)Tmin ±3℃
確保(bao)被檢(jian)器件在(zai)檢(jian)測的環境溫(wen)度下已保(bao)持120min。
2.2.2方法
在有(you)能力檢測(ce)(ce)被(bei)測(ce)(ce)器件的(de)測(ce)(ce)試(shi)系(xi)統上,按(an)器件數據于(yu)冊的(de)技術要(yao)(yao)(yao)求(qiu)檢測(ce)(ce)器件是(shi)否滿足(zu)規(gui)定的(de)各項指標要(yao)(yao)(yao)求(qiu)。一般,這(zhe)些測(ce)(ce)試(shi)系(xi)統需(xu)要(yao)(yao)(yao)經(jing)過(guo)認可(ke)/計(ji)量確(que)認,測(ce)(ce)試(shi)軟(ruan)件經(jing)過(guo)認可(ke)/計(ji)量確(que)認。
2.3高溫(wen)測試
2.3.1條件
檢測的環(huan)境溫(wen)度:工作Tmax±3℃
確保(bao)被檢(jian)器件在檢(jian)測的(de)環境溫度下已保(bao)持120min。
2.3.2方法(fa)
在有(you)能力檢(jian)測被測器件的測試系統上(shang),按(an)器件數據手冊的技術要求(qiu)(qiu)檢(jian)測器件是否滿足規定(ding)的務(wu)項指標要求(qiu)(qiu)。一般,這(zhe)些(xie)測試系統蓿(xu)要經過認(ren)可/計(ji)量確(que)認(ren),測試軟件經過認(ren)可/計(ji)量確(que)認(ren)。
2.4高(gao)低溫沖擊(ji)
2.4.1條件
沖擊低溫:存儲/工作(zuo) Tmin ±3℃
沖擊高溫:存儲/工作 Tmax
±3℃
沖(chong)擊保持(chi)時間:30min。
沖(chong)擊(ji)交替(ti)時問(wen):<3min。
沖擊交替次數(shu):5次。
2.4.2方法
2.4.2.1 .二箱法
本方法使用兩箱式冷熱沖擊試驗箱完成試驗。從常溫開始,將非工作狀態的器件放入低溫箱,使其達到存儲/工作Tmin±3℃,保持30min,取出被試件在常溫下放置2-3min,再放入溫度已達存儲/工作Tmax±3℃的高溫箱,保持30min。取出被試件在常溫下放置2-3min,再放入溫度已達存儲/工作Tmin±3℃的,低溫箱,保持30min
...,如此循環重復5次。剔除外觀受損部分。一般,這些試驗設備也需要經過認可/計量確認。
2.4.2.2一箱法
在三箱式(換氣式)冷熱(re)沖(chong)擊試驗(yan)(yan)箱上完成,將(jiang)試驗(yan)(yan)箱的二(er)個試區(qu)溫度分別(bie)置(zhi)為:存儲/工(gong)作(zuo)Tmin±3℃和(he)存儲/工(gong)作(zuo)Tmax±℃,并設置(zhi)它(ta)相關(guan)的試驗(yan)(yan)參(can)數和(he)上作(zuo)參(can)數。將(jiang)受試作(zuo)放入(ru)低(di)溫區(qu)開(kai)始(shi)試驗(yan)(yan)。應確保試驗(yan)(yan)從低(di)溫開(kai)始(shi)并能白動(dong)切換5個循環。一般,這(zhe)些試驗(yan)(yan)設備也需(xu)要經(jing)過認(ren)可/計量確認(ren)。
2.5動態老化(hua)3.5.1條件
老化的環境溫度:工(gong)作Tmax±3℃
老(lao)化時間:48h/96h。
2.5.2方法
在步入式高溫老化房上完成,按器件數據手冊規定的技術要求設定老化電源、電流、電壓等具體的老化條件。確保每個被試器件已安全地固定在相應老化板的老化夾具上,并確保老化器件的每個輸入管腿都有圖形脈沖進入。一般,這樣的老化系統也需要經過認可/計量確認。48h/96h應由客戶或程序文件確定。
2.6高溫存儲3.6.1條件(jian)
高(gao)溫存貯(zhu)溫度:存貯(zhu)/工作(zuo)Tmax±3℃
高溫(wen)存貯時間:48h/96h
2.6.2方(fang)法
將元器(qi)件放在(zai)滿足試(shi)(shi)(shi)驗(yan)能力要(yao)求的(de)高低溫(wen)試(shi)(shi)(shi)驗(yan)箱(xiang)中,設(she)置(zhi)高溫(wen)存貯溫(wen)度和保持(chi)時間,啟(qi)動試(shi)(shi)(shi)驗(yan),當(dang)溫(wen)度到達Tmax后確保保持(chi)96h,取出(chu)自然降溫(wen)。一般,這樣的(de)設(she)備也需要(yao)經(jing)過認(ren)可/計崇(chong)確認(ren)。48h/96h
應(ying)由客(ke)戶或程序(xu)文(wen)件確定。
2.7粗檢漏
2.7.1條(tiao)件
檢(jian)漏液沸點溫度:120℃±5℃
確保被檢器件(jian)能承受該溫度(du),否(fou)則不進(jin)行粗檢漏(lou)。如:民品器件(jian)。
確保檢漏液無大于1um粒子(zi),否則(ze)過濾后(hou)再使(shi)用(yong)。
2.7.2方法
將被檢(jian)(jian)器件(jian)放(fang)入(ru)加壓容(rong)(rong)器,充氮(dan)氣達(da)411Kpa保持2h。然后,將恢復常(chang)壓的被檢(jian)(jian)件(jian)逐個放(fang)入(ru)120℃±5℃的檢(jian)(jian)漏(lou)液(ye)中,確(que)保被檢(jian)(jian)件(jian)淹沒深度超(chao)過(guo)5cm.借助放(fang)大(da)鏡觀察30s 以上,剔除連續(xu)旨泡者(zhe)。一般,這樣的壓力(li)(li)容(rong)(rong)器和壓力(li)(li)表也需要經過(guo)認可/計量確(que)認。
3、試檢判別依據
3.1測(ce)試判(pan)別依據(ju)
常溫初/終測、高、低溫測試(shi)的判別依據是由各微電(dian)子器(qi)件(jian)(jian)生產廠商發布的柑應器(qi)件(jian)(jian)于冊所規(gui)定(ding)的技術指(zhi)標。在無本(ben)手冊的前(qian)提下,不(bu)(bu)(bu)同(tong)商規(gui)定(ding)的技術指(zhi)標可(ke)參照執行。測試(shi)時,只要(yao)存在一項指(zhi)標不(bu)(bu)(bu)合(he)格,該(gai)器(qi)件(jian)(jian)應視(shi)為不(bu)(bu)(bu)合(he)格品處置。在這樣的情況(kuang)下,后序(xu)的篩選過程不(bu)(bu)(bu)再執行。除非(fei)該(gai)器(qi)件(jian)(jian)的不(bu)(bu)(bu)合(he)格程度并不(bu)(bu)(bu)嚴重,同(tong)時已通知并經用戶認可(ke),方(fang)能繼(ji)續進行。
3.2試驗判別依據
3.2.1高溫存儲/高低(di)溫沖擊/動態老化判(pan)別依據
這兩項試驗的(de)目的(de)是加速/誘發微電(dian)子(zi)器(qi)件的(de)早期失效。一(yi)般(ban)存在(zai)(zai)缺陷的(de)器(qi)件在(zai)(zai)早期失效后不(bu)能恢復(fu),由(you)于高低(di)(di)溫(wen)沖擊(ji)/動(dong)(dong)態老(lao)化(hua)(hua)設備(bei),無能力對其電(dian)氣(qi)特(te)性是否發生了變化(hua)(hua)進行(xing)判別,所(suo)以(yi)對高低(di)(di)溫(wen)沖擊(ji)/動(dong)(dong)態老(lao)化(hua)(hua)后的(de)器(qi)件的(de)性能判別將在(zai)(zai)終測(ce)時進行(xing)。此(ci)時只需要(yao)對高低(di)(di)溫(wen)沖擊(ji)/動(dong)(dong)態老(lao)化(hua)(hua)后的(de)器(qi)件進作肉眼觀察,看其外觀物理(li)狀態是否發生了明顯的(de)變化(hua)(hua),例(li)如(ru):龜裂(lie)、爆(bao)炸等等,如(ru)果有這類情(qing)況,器(qi)件應立即(ji)剔除,不(bu)再參(can)加以(yi)后的(de)篩(shai)選(xuan)試驗。
3.2.2粗檢漏(lou)判別依據(ju)
根(gen)據(ju)粗(cu)檢(jian)漏(lou)的技術條件和(he)要求,用放大鏡(jing)觀(guan)察浸入高溫檢(jian)漏(lou)液(ye)的器件,剔除連續(xu)詈(li)泡者。
4、記錄和報告
在微電子器件的(de)老化篩(shai)選過程(cheng)中,對本文(wen)推薦流程(cheng)的(de)每個(ge)階段都應(ying)(ying)形成記錄,并(bing)出具一(yi)個(ge)初測報告(gao)、低溫測試(shi)報告(gao)、高(gao)溫測試(shi)報告(gao)、一(yi)個(ge)完整(zheng)(包括高(gao)低溫沖(chong)擊和(he)動(dong)態老化和(he)粗檢(jian)漏)的(de)試(shi)駿報告(gao)和(he)一(yi)個(ge)終測報告(gao)。完整(zheng)的(de)試(shi)驗報告(gao)也(ye)應(ying)(ying)將所作的(de)全部試(shi)驗條件和(he)結果(guo)描(miao)述消楚。