1、目的(de)
本試驗的(de)(de)目(mu)的(de)(de)是(shi)測(ce)定MEMS器(qi)件承(cheng)受高(gao)溫(wen)和(he)低(di)溫(wen)的(de)(de)能力，以及高(gao)溫(wen)與低(di)溫(wen)交替變化對器(qi)件的(de)(de)影響(xiang)。
2、設備
所用高低溫試驗箱在加載負荷時，應能為工作區提供和控制規定的溫度。熱容量和空(的流量必須能使工作區和負載滿足規定的試驗條件和計時要求。在試驗期間，用溫度指示器或自動記錄儀顯示監測傳感器的讀數來連續監視壞情況的負載溫度。對樣品的熱傳導應減至小。
3、程(cheng)序
樣品(pin)的(de)安(an)放(fang)位置(zhi)不應妨(fang)礙樣品(pin)四周空氣的(de)流動(dong)。當(dang)需要(yao)特殊地(di)安(an)置(zhi)樣品(pin)時(shi)，應作具體規定。樣品(pin)應在規定條件下連(lian)續完(wan)成(cheng)規定的(de)循(xun)環(huan)次數(shu)。采用(yong)試(shi)驗(yan)條件C至(zhi)少循(xun)環(huan)10次。一(yi)次循(xun)環(huan)包括第1步至(zhi)第2步或(huo)適用(yong)的(de)試(shi)驗(yan)條件，必須無中(zhong)(zhong)(zhong)斷(duan)地(di)完(wan)成(cheng)，才(cai)能算作一(yi)次循(xun)環(huan)。在完(wan)成(cheng)規定的(de)試(shi)驗(yan)循(xun)環(huan)總次數(shu)期間(jian)，為了(le)進(jin)行器件批的(de)加載(zai)或(huo)去載(zai)，或(huo)由(you)于電源或(huo)設(she)備故障，允(yun)許(xu)中(zhong)(zhong)(zhong)斷(duan)試(shi)驗(yan)。然(ran)而，如果中(zhong)(zhong)(zhong)斷(duan)次數(shu)超過規定的(de)循(xun)環(huan)總次數(shu)的(de)10%時(shi)，不管任何(he)理(li)由(you)，試(shi)驗(yan)必須重新從頭開始(shi)進(jin)行。
3.1計(ji)時
從熱到冷或從冷到熱的(de)總轉(zhuan)換(huan)時(shi)(shi)間不得(de)超過1min。當(dang)壞情況(kuang)負(fu)載溫度是(shi)處在表1規定的(de)極(ji)值范圍(wei)之內時(shi)(shi)，可(ke)以(yi)轉(zhuan)移負(fu)載，但停(ting)留時(shi)(shi)間不得(de)少于(yu)10min，負(fu)載應在15min內達到規定的(de)溫度。
3.2檢驗(yan)
后一(yi)次循環完成之后，不(bu)放(fang)(fang)大(da)(da)或(huo)放(fang)(fang)大(da)(da)不(bu)超過3倍(bei)(bei)對樣品標志進行檢驗，放(fang)(fang)大(da)(da)20~50倍(bei)(bei)對外殼、引線或(huo)封口(kou)進行目檢(但當本試(shi)驗用(yong)于100%的篩選時至少應(ying)放(fang)(fang)大(da)(da)1.5倍(bei)(bei)進行檢驗)。
本項檢驗和任何補充規定(ding)的(de)(de)測量(liang)及(ji)檢驗，都應在(zai)后一次循(xun)環(huan)完成之后進(jin)行，或者在(zai)包括本試(shi)驗的(de)(de)某試(shi)驗組、步(bu)或分組完成時進(jin)行。
3.3失效判據
試驗(yan)后，任何規定的(de)終點測(ce)量或(huo)(huo)檢驗(yan)不(bu)合格(ge)，外殼、引線或(huo)(huo)封口的(de)缺陷或(huo)(huo)損壞(huai)跡象(xiang)，或(huo)(huo)標志(zhi)模糊，均應(ying)視為失效。試驗(yan)期間，由(you)于(yu)夾具或(huo)(huo)操(cao)作(zuo)不(bu)當(dang)造成標志(zhi)的(de)損壞(huai)，不(bu)應(ying)影響(xiang)器件的(de)接收(shou)。
