1、目(mu)的(de)
本試驗(yan)的(de)(de)(de)目(mu)的(de)(de)(de)是(shi)確定MEMS器件在遭到溫度劇變時的(de)(de)(de)抵(di)抗能力，以(yi)及溫度劇變產生的(de)(de)(de)作用。
2、設(she)備
所用的冷熱沖擊試驗箱在加載負荷時，應能為工作區提供并控制規定的溫度。熱容量和液體流量必須能使工作區和負載滿足規定的試驗條件和計時要求。在試驗期間用指示儀或記錄儀顯示監視傳感器的讀數，來連續監視壞情況負載溫度。按驗證冷熱沖擊試驗箱工作特性的要求，驗證負載條件和配置下的壞情況負載溫度。用于條件B和C的過碳氟化合物應滿足表1的規定。
3、程序
樣品應放于冷熱沖擊試(shi)驗(yan)箱中的合適位置，使液體在樣品周圍的流動不應受到阻礙，然后根據表2的規定，使負載進行條件B或其他規定的試驗條件進行15次循環。在完成規定試驗總循環數期間，為了進行器件批的加載或去載，或由于電源或設備故障，允許中斷試驗。然而，對任何給定的試驗，若中斷次數超過規定循環總次數的10%時，試驗必須重新從頭開始。
3.1 計時
從熱(re)到(dao)冷或從冷到(dao)熱(re)的(de)總轉(zhuan)換(huan)時間不得(de)(de)超過10s。 當壞情況負(fu)(fu)載(zai)溫(wen)度達到(dao)表2規定(ding)的(de)極，值范圍內時，可以(yi)轉(zhuan)換(huan)負(fu)(fu)載(zai)。負(fu)(fu)載(zai)應(ying)在(zai)5min內達到(dao)規定(ding)的(de)溫(wen)度，但停留時間不得(de)(de)少于(yu)2min。
3.2 檢驗(yan)
后(hou)一次循環完成之后(hou)，不放大(da)(da)或放大(da)(da)不超(chao)過3倍對樣品標志(zhi)進(jin)行(xing)(xing)外(wai)觀檢(jian)(jian)驗(yan)(yan)(yan)(yan)，放大(da)(da)20~50倍對外(wai)殼、引線或封(feng)口進(jin)行(xing)(xing)目檢(jian)(jian)(當(dang)本試(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)用于(yu)100% 的篩(shai)選(xuan)時(shi)至(zhi)少應放大(da)(da)1.5倍進(jin)行(xing)(xing)檢(jian)(jian)驗(yan)(yan)(yan)(yan))。本項檢(jian)(jian)驗(yan)(yan)(yan)(yan)和任何補充規定的測(ce)量及檢(jian)(jian)驗(yan)(yan)(yan)(yan)，都(dou)應在后(hou)一次循環完成之后(hou)進(jin)行(xing)(xing)，如果某試(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)組(zu)、步或分(fen)組(zu)包括(kuo)本試(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)，則在該試(shi)驗(yan)(yan)(yan)(yan)組(zu)、步或分(fen)組(zu)完成之后(hou)進(jin)行(xing)(xing)。
3.3失效判據
試驗(yan)(yan)后，任(ren)何(he)規定(ding)的(de)終點(dian)測量或檢(jian)驗(yan)(yan)不合格(ge)，外殼、引線或封口的(de)缺陷或損壞跡象，或標(biao)志(zhi)模(mo)糊，均應(ying)視為失效。試驗(yan)(yan)期(qi)間由于夾具或操作(zuo)不當造成標(biao)志(zhi)損壞，不應(ying)影響器件的(de)接(jie)收。
